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傅利葉變換紅外光譜分析儀

簡(jiǎn)要描述:傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2023-06-13
  • 訪  問  量:2036

詳細(xì)介紹

傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流,能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜,故省出了氣體筒的成本。另外,操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)它操作簡(jiǎn)便,易于維護(hù)。

傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì), 高光通量取樣單元,專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫(kù)組成。收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫(kù)分析,提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測(cè)量。


特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn):

? 10ppb-100%靈敏度對(duì)于絕大多數(shù)有毒有 害氣體

? 易于移動(dòng)從一處移到另一處,設(shè)置僅需幾 分鐘

? 同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體

? 分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜,省去了氣體筒的 成本

? 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定 溫度

? 保護(hù)的線性檢測(cè)器,確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下

? 頻率和分辨率診斷,確保校準(zhǔn)恒定

? 提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度

? 用戶操作簡(jiǎn)便軟件界面,稍加培訓(xùn)即可操作


應(yīng)用:

? 煙囪監(jiān)測(cè)器

? 工藝監(jiān)測(cè)改進(jìn)和優(yōu)化

? 空氣環(huán)境分析

? 氣體純度分析

? 燃燒排放監(jiān)測(cè)

? 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測(cè)


檢測(cè)極限

5.11米氣室,MCT檢測(cè)器在0.5cm-1分辨率下,下列典型氣體檢測(cè)數(shù)據(jù)為:

 

名稱

分子式

20/20?氣室,5min檢測(cè)時(shí)間下的檢測(cè)值

20/20?氣室,1s檢測(cè)時(shí)間下的檢測(cè)值

氨氣

NH3

30ppb

0.5ppm

二氧化碳

CO2

12ppb

0.2ppm

一氧化碳

CO

72ppb

1.2ppm

甲醛

H2CO

36ppb

0.6ppm

氯化氫

HCl

87ppb

1.5ppm

甲烷

CH4

36ppb

0.6ppm

二氧化氮

NO2

24ppb

0.4ppm

氧化氮

NO

210ppb

3.6ppm

氧化二氮

N2O

30ppb

0.5ppm

四氟化硅

SiF4

10ppb

0.15ppm

二氧化硫

SO2

36ppb

0.6ppm

四氟化碳

CF4

2.5ppb

40ppb

二甲苯磺

C8H10

60ppb

1.0ppm


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