一切以氣體或蒸汽作為激光工作物質(zhì)的激光氣，統(tǒng)稱為激光混合氣。這是目前種類最多、發(fā)展最快應用廣的一類激光器。通?？梢园褮怏w激光器劃分為原于氣體激光器、離子氣體激光器、分子激光器和準分子激光器、氣體激光器的激勵方式很多，通常采用氣體放電激勵，此外還可采用電子束激勵、氣動式激勵、化學激勵、光激勵和核動激勵等。氣體激光器與液體激光器、固體激光器和半導體激光器一樣，已經(jīng)實現(xiàn)了實用化。它已廣泛用于工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、科學研究、國防建設和醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于其中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF）激光，可稱為第三代激光。
激光混合氣的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于其中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對其組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光氣是第二代氣體激光，在半導體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。
激光混合氣的組成與精度的影響?；旌蠚庵薪M分濃度的變化對于振蕩效率和激光器使用壽命影響極大。采用99.999%、二氧化碳和99.999%氫氣、氮氣和氦氣等高純氣體，按激光發(fā)生器的的比例要求配制而成的預混合氣體。具有重復性好、均勻性好、一致性好等特點。其組成與精度的影響。對于二氧化碳激光器，若混合氣氮組分氣濃度發(fā)生變化，受電子沖撞則引起氨分子激勵狀態(tài)發(fā)生變化，結(jié)果會造成二氧化碳氣體分子的激勵效率等發(fā)生變化。
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