高純氣體必須滿足2個條件:
1、主體成分含量必須大于某一定值。
2、各雜質(zhì)組分含量必須小于某一定值。
電子工業(yè)用氣、儀器儀表校準(zhǔn)用的零點氣、標(biāo)準(zhǔn)氣配制用氣、色譜載氣等均需滿足以上要求,可列為高純氣體。
理論上,高純氣體的純度=主體成分含量=1-∑雜質(zhì)含量。事實上,用實驗方法直接準(zhǔn)確測定高純氣體中主體成分含量是非常困難的。既使象二氧化碳這類產(chǎn)品,可以通過規(guī)定的方法,直接測定得到“純度值”,但該值也包含有水分、酸性氣體及其它與強(qiáng)堿作用的成分。所以說,該“純度”也并非理論意義上的氣體純度。
而另外一種通過測定氣體中所含有的所有雜質(zhì)成分,計算求得氣體純度(理論純度)的方法,同樣難以實現(xiàn)。
那么,目前市場上高純氣體產(chǎn)品的“純度”含義又是什么呢?筆者認(rèn)為,所謂高純氣體純度是通過規(guī)定方法直接測得或扣除規(guī)定雜質(zhì)計算求得的濃度值。這種規(guī)定是生產(chǎn)者和用戶依據(jù)生產(chǎn)過程和使用目的共同協(xié)商的結(jié)果。
評價高純氣體的質(zhì)量,除進(jìn)行“純度”指標(biāo)評價外,還需依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)對規(guī)定雜質(zhì)進(jìn)行逐一核對。任何一項超出規(guī)定的要求,都不能稱之為合格品。